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氦质谱检漏仪的几种检漏方式
- 2019-12-18-

氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种,一种是常规泄漏检测,另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端,并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中,方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实:分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率(分子泵出口处的气压与入口处的压力之比),即不同气体的反向扩散。

反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱仪检漏仪可达到300Pa(通常传统检漏仪小于0.05Pa),适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。

如果该对的泄漏率和气体释放率较大或体积较大,则如果将泄漏检测器直接连接到泄漏检测器,则可能无法拉高泄漏检测器的真空度,从而导致泄漏检测器无法工作。在这种情况下,必须添加辅助真空系统以提高试件的抽速。简单的辅助真空系统仅需要一个机械泵和两个阀。复杂的系统可以由前级泵,辅助泵,阀门,真空计和标准泄漏组成。次级泵可以是扩散系统或罗茨泵,前级系统优选是气镇机械泵。

将测试件连接到仪器的泄漏检测端口以排空,并用装满氦气的容器覆盖测试件。如果测试件有泄漏,氦气会通过泄漏进入测试件,后到达质谱仪管。检测。测得的泄漏率是被测零件的总泄漏率。无法确定有多少泄漏以及每个泄漏的确切位置。可以看出,钟罩法是基于喷雾法的检漏法。

氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。在进行泄漏检测之前,用专用的加压容器将氦气加压到试件中(压力的大小由压力和时间控制),然后取出试件,吹走表面以吸收氦气,然后将其放置在专用的专用容器中。检漏罐。泄漏检测箱连接到泄漏检测器的泄漏检测端口,并排空泄漏检测箱以执行泄漏检测。如果设备中存在泄漏,则被泄漏压过的氦会释放到泄漏检测罐中到达质谱仪管。用这种方法测得的泄漏率也是总泄漏率。