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现阶段氦质谱检漏仪的研究进展
- 2019-01-11-

        在科学技术不断发展的时代,氦气及其应用技术也在不断发展和完善。这主要由两个因素决定:一方面,检漏应用技术不断对检漏仪提出新的要求,迫使仪器本身更新;另一方面,检漏技术在应用过程中也随时随地对现有检漏仪进行补充。对于一些不足之处,现阶段氦质谱检漏仪的研究进展及其应用之间的关系是互补和相辅相成的。

氦质谱检漏仪的研究进展

        经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已经告别了40年代初的状况。

        主要体现在以下几个方面:

        (1)高压检漏:检漏口压力可高达数百帕左右,对检测大系统、大泄漏工件非常有用。

        (2)自动化程度高:氦峰自动校准,自动调零,自动量程转换,自动数据处理,外置打印机。整个机器由电脑控制,菜单选择功能,一个按钮就可以完成一个完整的检漏过程。

        (3)便携式:近年来,各国引进的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且携带方便,为野外作业和高空作业提供了更大的便利。

        (4)检漏范围宽:目前四极检漏仪质量范围广。它不仅能检测氦气,还能检测其他气体。

        (5)无油干漏检测:在一些国家,可以采用干泵实现无油蒸汽的效果,为无油系统、芯片等半导体器件的检漏提供了有利条件。

        分子泵排气系统取代了扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对仪器的快速启动和快速停机也有很大的贡献。为了适应检漏压力的变化和不同的灵敏度要求,分子泵一般采用多级结构和几种不同的转速。例如,瑞士和日本利用改变分子泵的速度来达到这一目的,并提高泄漏检测灵敏度。另外,反扩散检漏方法实现了高压下的检漏,为正压吸枪检漏提供了良好的条件。